ДАТЧИКИ И СИСТЕМЫ № 10, 2012
С О Д Е Р Ж А Н И Е И А Н Н
О Т А Ц И И
C O N T E N T S A N D A B S T R A C T S
Представляет Научно-исследовательский институт
физических измерений
ТЕХНОЛОГИЯ
КОНСТРУИРОВАНИЯ И ПРОИЗВОДСТВА ДАТЧИКОПРЕОБРАЗУЮЩЕЙ АППАРАТУРЫ
Баринов И. Н., Федулов А. В.,
Волков В. С. Высокотемпературные датчики
абсолютного давления на структуре “поликремний–диэлектрик”
с улучшенными метрологическими характеристиками … 2
Описано применение структуры “поликремний–диэлектрик”
для создания высокотемпературных датчиков абсолютного давления. Предложены
конструктивно-технологические решения для снижения температурной зависимости и
устранения дрейфа выходного сигнала благодаря использованию многоэлементной
мостовой схемы и усовершенствованной технологии диффузионной сварки.
Ключевые слова: структура “поликремний–диэлектрик”, высокотемпературный
полупроводниковый датчик абсолютного давления, многоэлементная мостовая схема,
полость опорного давления, диффузионная сварка.
The applications of “polysilicon–insulator” structure for high-temperature
absolute pressure sensors are described. The methods to decrease
the temperature dependence and output signal drift
by using the multiunit bridge
circuit and anodic bonding upgrading are suggested.
Keywords: “polysilicon – insulator” structure,
high-temperature absolute pressure sensor, multiunit bridge circuit, reference
cavity, anodic bonding.
Баринов И. Н., Волков В. С.,
Баринов Н. И. Датчики давления на основе
резонансного преобразователя с повышенной временной стабильностью
метрологических и эксплуатационных характеристик … 6
Рассмотрены характеристики применяемых в настоящее время резонансных
преобразователей давления, предложена конструкция резонансного преобразователя c повышенной стабильностью характеристик.
Ключевые слова: датчик давления,
кремниевый резонансный преобразователь, тензорезистор,
обратная связь, сила Лоренца.
The article describes
modern pressure resonance transducer performances. The
resonance transducer construction in possession of increasing
performance are proposed.
Keywords: pressure sensor, silicone resonance converter, strain gauge,
feedback, lorentz force.
Дмитриенко А. Г., Трофимов А. А. Анализ инструментальных погрешностей
базовых конструкций растровых чувствительных элементов датчиков перемещений
… 9
Проведен анализ инструментальных погрешностей растровых электромагнитных
датчиков перемещений, определены пути их уменьшения. Предложена систематизация
инструментальных погрешностей, вызванных отклонением фактических значений
размеров от номинальных. Приведены основные выражения
для расчета эксцентриситета статора, биения ротора, эллипсности и конусности.
Ключевые слова: датчики
перемещений, систематизация, растровое сопряжение, инструментальная
погрешность, чувствительный элемент.
Dmitrienko A.G., Trofimov A. A. Analysis of instrumental inaccuracies of basic designs of raster
sensitive elements of mechanical motion transducers
The analysis of instrument
errors for raster electromagnetic displacement transducers is carried out, the ways of their reduction are defined. Ranging for
instrument errors caused by a deviation of actual size values from the nominal
ones is offered. The basic expressions for calculation of stator off-set, rotor
run out palpation, ovality and degree of taper are
given.
Keywords: displacement transducers, ranging, raster interfacing, the
instrument error, sensitive element.
Чебурахин И. Н., Ворожбитов А. И. Оценка
адгезии тонких пленок в структуре "металл – диэлектрик" … 12
Предложен процесс оценки качества сцепления диэлектрических пленок через
подслой хрома с подложкой и между собой. Представлены результаты
экспериментальных исследований и их анализ.
Ключевые слова: упругий элемент,
напыление, диэлектрики, адгезия, напряжение, окисление.
Quality estimation
process of dielectric films bonding between each other and by means of chrome
intermediate layer with a substrate is presented.
Keywords: elastic member, evaporation, dielectric, adhesion, voltage,
oxidation.
Попченков Д. В., Кучумов
Е. В. К построению модели технологического процесса напыления тонких пленок
вакуумным испарением … 14
Предпринята попытка очертить круг явлений и законов, позволяющих в
дальнейшем построить математическую модель процесса напыления тонких плёнок
вакуумным испарением.
Ключевые слова: математическое
моделирование, напыление тонких плёнок, вакуумное испарение.
Popchenkov D. V., Kuchumov
Ye. V. Development of mathematical model of
thin film deposition by vacuum evaporation
This article defines few
basic principles needed for development of elementary mathematical model of
thin film deposition by vacuum evaporation.
Keywords: mathematical modeling, thin film deposition, vacuum
evaporation.
Чебурахин И. Н., Хошев А. В., Торгашин С. И. Анализ качества тонкопленочных гетероструктур МДМ … 19
Представлены результаты исследований способов оперативной оценки качества
тонкопленочных тензоструктур в системе
металл–диэлектрик–металл (МДМ), полученных методом распыления в вакууме на
металлических подложках – упругих элементах (УЭ), используемых для изготовления
датчиков давления. Показано, что предложенные решения при значительном
сохранении времени и затрат позволяют оценивать дефектность (раковины, поры,
инородные включения и др.) как на рабочей поверхности отполированного УЭ, так и
послойно в тонкопленочной структуре МДМ на этапах отработки технологии, а также
при анализе некондиционных ЧЭ, появляющихся в процессе производства.
Ключевые слова:
упругий элемент, чувствительный элемент, диэлектрик, напыление, схема,
полировка, поры, раковины, включения, изоляция, дефекты.
Research results for
methods of effective quality evaluation of thin-film tensostructures
in the metal–dielectric–metal (MDM) system, these structures having been
obtained by spraying in vacuum method on the metal substrates – spring elements
used for pressure sensors manufacturing have been given. It’s shown that these
offered solutions while making it possible to save large amounts of time and
money, make it also possible to evaluate presence of defects (air pockets,
voids, foreign inclusions) not only on the operating surface of smooth spring
element, but also layer-by-layer in a thin-film MDM structure at the stages of
validation through elaboration of technology and analysis of off-grade sensing
elements which can arise while manufacturing.
Keywords: spring element, sensing element, dielectric, spraying,
circuit, smoothing, air pockets, voids, foreign inclusions, insulation,
defects.
Чебурахин И. Н., Колосов П. А. Способ повышения стабильности тонкопленочных
тензорезисторов … 23
Исследована возможность применения импульсных электрических нагрузок
определенной амплитуды и длительности при изготовлении металлопленочных
датчиков с тонкопленочными тензорезисторами. Дано
описание механизма воздействия импульсов напряжения при обработке резистивного
слоя на этапах стабилизации и юстировки сопротивлений тонкопленочных тензорезисторов. Сформулированы конкретные рекомендации по
практическому применению технологии импульсной обработки.
Ключевые слова: импульс напряжения,
тонкопленочный тензорезистор, стабилизация, юстировка
сопротивления, длительность импульса, тепловой импульс.
The possibility of usage
of pulsed electric loads with certain magnitude and duration while
manufacturing metal-film sensors with thin-film resistive strain-gages has been
analyzed. Description of mechanism of voltage impulse influence while
processing the resistive layer at the stages of steadying and resistance
setting of thin-film resistive strain gages has been given. Certain
recommendations for application in practice of pulse processing technology have
been formed.
Keywords: voltage impulse, thin-film resistive strain gage, steadying,
resistance setting, pulse width, heat pulse.
Ефремов Е. В. Опыт проектирования, комплектования и внедрения комплекса
автоматизированной лазерной пайки … 26
Рассмотрены некоторые особенности элементной базы,
используемой в ракетно-космической промышленности, существующие технические
решения сборки печатных плат, примененные в разрабатываемых в отрасли датчиках
и системах. Намечены пути дальнейшего развития технологии монтажа
печатных плат ОАО “НИИФИ”, а также путь решения существующих проблем, выбранный
предприятием.
Ключевые слова: комбинированный
монтаж, комплекс автоматизированного монтажа, поверхностный монтаж.
Efremov E. V. Design, complete setting and
introduction experience for automatized
laser-assisted soldering set
Different peculiarities
of hardware components used in space-and-rocket engineering, existing
engineering solutions for PCB insertion, used in designed sensors and systems
have been examined. The ways
for further development of printed board assembly
technique in “NIIFI”, JSC, and the way
which the enterprise has chosen to solve
some existing problems, have been outlined.
Keywords: multiple-unit assembly, automated assembly set,
surface-mounted assembly.
ОБЕСПЕЧЕНИЕ КАЧЕСТВА И НАДЕЖНОСТИ ДАТЧИКОПРЕОБРАЗУЮЩЕЙ АППАРАТУРЫ
Дмитриенко А. Г., Измайлов В. В.,
Блинов А. В. Совершенствование системы
менеджмента качества в ОАО “НИИФИ” … 30
Рассмотрены основные этапы совершенствования системы менеджмента качества
ОАО “НИИФИ”.
Ключевые слова: менеджмент
качества, мониторинг процессов, деятельность по улучшениям.
Dmitrienko A. G., Ismailov V. V., Blinov
A. V. Development of quality management system in
“NIIFI”, JSC
The main steps in
development of quality management system in “NIIFI”, JSC have been analyzed.
Keywords: quality management, process monitoring, development efforts.
Катков А. Н., Новиков В. Н. Перспективы создания системы автоматизированного
проектирования датчикопреобразующей аппаратуры … 33
Показана актуальность создания системы автоматизированного проектирования
интеллектуальных датчиков, приведены задачи по разработке интеллектуальных
датчиков и структура системы автоматизированного проектирования.
Ключевые слова: интеллектуальный
датчик, система автоматизированного проектирования.
Katkov A. N., Novikov V. N. Opportunities for creation of automated design system for sensing and transducing instrumentation
The creation of the
automated design system for smart sensors is shown; the objectives of the smart
sensor development and the automated design system structure are given.
Keywords: smart sensor, automated design system.
Дмитриенко А. Г., Папко А. А., Кирянина И. В., Торгашин С. И. Об
исследовании повторяемости и воспроизводимости
метрологических характеристик прецизионных акселерометров … 36
Представлены результаты оценки повторяемости метрологических
характеристик прецизионных акселерометров в условиях производства ОАО “НИИФИ” и
их воспроизводимости в условиях измерений
предприятия-потребителя. Определены технические решения, обеспечивающие
соответствие установленным требованиям по повторяемости и воспроизводимости.
Ключевые слова: повторяемость, воспроизводимость, прецизионный акселерометр, измерения.
Dmitrienko A. G., Papko A. A., Kirjanina
I. V., Torgashin S. I. On the research of frequency and precision of
metrological characteristics of precision accelerometers.
Evaluation report on
frequency of metrological characteristics of precision accelerometers in
conditions of “NIIFI”, JSC production and on their precision in the measuring
conditions of consumer enterprise has been given. Engineering
solutions to ensure compliance with the given
requirements on frequency and precision
have been defined.
Keywords: frequency, precision, precision accelerometer, measurement.
Богомолов А. И., Семкин А. Н., Семина И. А., Плющ А. А. К вопросу решения некоторых измерительных задач в интересах вооружения,
военной и специальной техники, а также объектов военной инфраструктуры … 39
Рассмотрены некоторые вопросы решения измерительных задач в интересах
Вооруженных сил РФ. Показаны отдельные требования к измерительным системам
вооружения, военной и специальной техники и объектов военной инфраструктуры.
Ключевые слова: вооружение, военная
и специальная техника, измерительные задачи, испытания, сохранность
боеприпасов, безопасность хранения боеприпасов.
Bogomolov A.I., Semkin A. N., Semina
I.A., Plyushch A.A. On an issue of a solution of some measurement problems for the benefit
of the armament, military and special equipment and also of military
infrastructure objects
Some issues of a
solution of measurement problems for the benefit of RF Armed forces are
considered. Individual requirements to measurement systems of the armament,
military and special equipment and military infrastructure objects are
shown.
Keywords: armament, military and special equipment, measurement
problems, tests, ammunition safety, safety of ammunition storage.
СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ СТРУКТУРЫ ПРЕДПРИЯТИЯ.
КАДРОВАЯ ПОЛИТИКА
Дмитриенко А. Г., Блинов А. В., Баринов
И. Н., Мусаев Р. Ш. Центр проектирования
унифицированных микроэлектронных датчиков для работы в особо жестких условиях
эксплуатации … 42
Представлены актуальность, задачи и предполагаемые результаты работ
создаваемого на базе ОАО “НИИФИ” центра проектирования унифицированных
микроэлектронных датчиков для работы в особо жестких условиях эксплуатации.
Ключевые слова: дизайн-центр, особо
жесткие условия, микроэлектронные датчики.
Dmitrienko A. G., Blinov A. V.,
A currency, problems and
supposed results of the microelectronic sensors projection center for harsh
environment applications are showed.
Keywords: projection center, harsh environment, microelectronic sensors.
Кругляков А. А., Корсун Е. В. Кадровая
политика в ОАО “НИИФИ” … 45
Решение проблемы нехватки молодых квалифицированных кадров в результате
проводимой в ОАО “НИИФИ” кадровой политики. Показаны эффективные пути решения как проблемы привлечения молодых специалистов, так и
сохранения высококвалифицированных работников так называемого среднего
возраста.
Ключевые слова: кадровый голод,
социально-психологический климат, кадровая политика, подготовка кадров,
кадровый потенциал.
Krugljakov A. A., Korsun E. V. Manpower situation at “NIIFI”, JSC
Everywhere in
rocket-and-space industry one suffers from lack of young qualified manpower. As a result
of “NIIFI” personnel policy it’s been
possible to find effective ways of solving
the problem of involving not
only young qualified manpower, but also the
so-called middle aged specialists.
Keywords: personnel hunger, psychosocial climate, personnel policy,
manpower training, HR potential.
Дмитриенко А. Г., Варюшин Ю. М., Кастеров В. М., Трофимов А. А. Подготовка научных кадров на базе учебно-научного центра ОАО “НИИФИ” … 47
Представлена информация о работе учебно-научного центра, сформированном
на ОАО “НИИФИ”. Рассмотрены вопросы целевой подготовки молодых инженерных
кадров в области приборостроения.
Ключевые слова: учебно-научный
центр, целевая подготовка, аспирантура, докторантура, ОАО “НИИФИ”.
Dmitrienko A. G., Varjushin Y. M., Kasterov
V. M., Trofimov A. A. Scientific manpower training on the basis of “NIIFI” educational and
scientific centre
The information on the
educational and scientific centre organized on the basis of “Research Institute
for Physical Measurements”, Joint Stock Company, is given. The questions of
target training of young engineering
manpower for instrument making industry have been
discussed.
Keywords: educational and scientific centre, target training,
postgraduate studies, doctoral studies.
ИЗМЕРЕНИЯ,
КОНТРОЛЬ, АВТОМАТИЗАЦИЯ (журнал в журнале)
Гребенюк Е. А., Ицкович Э. Л. Определение расходов производственных
продуктовых и энергетических потоков … 50
Рассматриваются различные способы оценки значений мгновенных расходов и
суммарных расходов за заданные интервалы времени продуктовых и энергетических
потоков, перемещаемых по путепроводам между участками производства. Приводятся
алгоритмы определения мгновенных и суммарных значений расходов потоков и
погрешностей полученных значений. Обсуждаются способы повышения достоверности
определенных значений.
Ключевые слова: расчет расходов
производственных потоков, погрешность значений расходов потоков, достоверность
значений расходов.
Grebenyuk E.A., Itskovich E.L. Determination of a consumption of manufacturing product and energy
flows
Different methods of an
evaluation of values of instantaneous consumptions and aggregate consumptions
for given time intervals of product and energy flows, moving through passes
between manufacturing areas, are considered. Algorithms of a determination of
instantaneous and aggregate consumptions of flows and inaccuracies of
calculated values are given. Methods of an increase of a reliability of
determined values are discussed.
Keywords: determination of a consumption of manufacturing flows,
inaccuracy of values of consumption of flows, reliability of consumption
values.
Библиография + …57
Приглашение к представлению докладов на конференции и симпозиумы … 58
* * *
Contents and abstracts … 59